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鈺祥再突破 材料科學結合ESG

Zelene Jeremiah

鈺祥再突破 材料科學結合ESG

鈺祥自有研發團隊及設備實驗室。圖/業者提供

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近年晶片供需戰火熱化,讓臺灣半導體產業發展更受矚目,但ESG淨零碳排意識擡頭,在天然能源供給缺乏,缺水缺電現況的的臺灣,如何在有限的能源使用前提下,邁向二奈米或更高精密的產業發展,已經成爲高精密產業的急迫議題。

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臺灣半導體產業除了製程原物料採購及生產製程外,提供整個製程所需環境的高科技廠房設施以往較容易被忽略,在ESG淨零碳排議題興起後,開始越來越多人注意到高科技廠房設施,是影響直接碳排重要的隱形環節。

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在半導體制程中,逸散到環境中的AMC(氣體微污染物),對於晶圓製造良率產生絕對影響,需要依靠廠房設施進氣單源MAU與風扇機組FFU,以及無塵室中的安裝的專業化學濾網,進行相對應的吸附過濾,減少粒子狀的污染物沉積在晶圓表面的機率,才能減少不良品的產生,提升產品關鍵良率,同時避免製程時間的增加,以及後續造成的能源消耗及廢棄物間接碳排。

兩岸三地最大化學濾網製造商,鈺祥企業總經理莊士傑指出,在AMC分類中的E類污染源物質異丙醇與丙酮,是實務經驗中晶圓代工客戶在良率上目前遇到最大的瓶頸,特別是當關鍵線寬的尺寸進展到低於0.25微米時,單純的無塵空間已經不能滿足晶圓製造對於潔淨度的需求。

今年鈺祥透過獨家材料研發成功,在實驗研究數據的呈現及產線實際應用上,產品使用壽命及過濾效能都達到兩倍的突破成果,而新型濾網在效能加倍的前提下,卻可重複利用5次,濾筒則達到95%以上的循環再利用。

「ESG要怎麼發展,站在製造業的角度上,就是要突破原本的思維,從材料科學源頭出發,才能創造最有效的減碳效果。」鈺祥總經理莊士傑表示。

鈺祥在9月14日至16日於國際半導體展循環經濟專區,展出獲得2020年經濟部循環經濟示範場域相關產品,及降低碳排的數據成果。

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